Plasma-Therm
Plasma-Therm 设计并制造可配置的晶圆处理平台，用于微电子制造中的等离子刻蚀、沉积、热处理和等离子切割。
最近更新 2026年9月11日
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概览
Plasma-Therm 是一家设计并制造可配置晶圆处理平台的公司，这些平台用于微电子制造中的标准与先进工艺，涵盖刻蚀与沉积应用、快速热处理和等离子切割。其产品类别包括刻蚀、沉积、热处理和等离子切割系统。公司表示其系统支持面向现有及新兴微电子市场的刻蚀、沉积、热处理、材料改性和芯片切割应用，并称其技术与合作已帮助客户和研究机构推进半导体与医疗应用。其招聘页面提到总部位于佛罗里达州。
沿革
Plasma-Therm 表示，在 2026 年开始之际，公司回顾了 2025 年这一创新、增长和全球影响力扩大的一年，并称其技术与合作已帮助客户和研究机构推进半导体与医疗应用。其招聘页面提到总部位于佛罗里达州。
产品与定位
用于制造半导体器件的优质等离子刻蚀、沉积和先进封装设备。
刻蚀系统
模块化设计，可实现灵活配置和物料处理。
沉积系统
旨在持续提供出色的覆盖、高度均匀的薄膜沉积和材料控制。
热处理系统
旨在确保无损伤材料去除，或形成改善基板表面的坚固涂层。
等离子切割系统
提升良率的等离子切割系统，可解决传统锯切切割的痛点。
近期事件
Plasma-Therm收购OEM Group干法工艺设备业务[5]
Plasma-Therm收购了OEM Group的干法工艺设备业务，并取得SFI Endeavor、AG Heatpulse、MRC Eclipse和Tegal品牌设备的原始许可及知识产权。
来源5 个来源
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