帕克系统
韩国科学仪器公司，专注于原子力显微镜及其他纳米级测量技术。
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概览
Park Systems是一家韩国科学仪器制造商，以原子力显微镜（AFM）及相关纳米计量系统闻名。公司服务于需要在纳米尺度上测量、成像、表征或控制表面和结构的研究、工业和半导体客户。其产品组合已从传统的AFM系统扩展到包括成像光谱椭偏仪、主动隔振台和数字全息显微镜。 公司于1997年4月7日以PSIA的名义成立。其创始人朴相一博士曾在斯坦福大学Calvin Quate教授的实验室工作，当时Quate、Gerd Binnig和Christoph Gerber进行了原子力显微镜的早期实验工作。朴后来于1988年在硅谷创立了Park Scientific Instruments。该业务出售给Thermo Electron后，他返回韩国并创立了PSIA，名称反映了开发比早期PSI业务更先进仪器的雄心。 早期，PSIA在建立自己的工程和制造能力的同时，最初销售与朴先前公司相关的进口产品。2002年发布的XE-100是早期重要产品里程碑，被描述为韩国开发的第一台研究型AFM。公司于2006年将总部迁至韩国先进纳米制造中心，并于2007年4月采用Park Systems名称，正值公司成立十周年。 Park Systems的核心技术基于采用解耦挠曲扫描器架构的AFM系统。在该设计中，XY扫描器水平移动样品，而独立的Z扫描器垂直移动探针。公司还推广一种称为“真非接触”的非接触操作方式，旨在减少测量过程中探针与样品之间的机械相互作用。2010年，韩国将公司的工业AFM技术指定为国家核心技术。 公司致力于与先进半导体制造更紧密地整合。2015年，Park Systems与IMEC启动了一个专注于半导体生产工业AFM技术的联合开发项目，随后于2020年宣布了第二个联合开发项目。这些努力反映了公司在实验室显微镜和生产导向的过程计量之间的定位，其中可重复性、自动化、无损测量以及与半导体工作流程的兼容性非常重要。 Park Systems于2015年12月在KOSDAQ市场公开上市，股票代码为140860。公司通过北美、欧洲和亚洲的分支机构和商业活动进行国际运营。其扩张还包括相邻的光学和环境测量技术。2022年，公司宣布收购德国成像光谱椭偏仪和主动隔振台制造商Accurion GmbH。2025年初，它收购了瑞士数字全息显微镜制造商Lyncée Tec。这些交易将Park Systems的产品从以AFM为中心的纳米级表面分析扩展到更广泛的精密成像和测量工具组合。
沿革
Park Systems的技术起源可追溯到斯坦福大学原子力显微镜的发展。1986年，朴相一是Calvin Quate实验室的博士生，当时Quate、Gerd Binnig和Christoph Gerber实现了AFM的首次实验。获得博士学位后，朴于1988年在硅谷创立了Park Scientific Instruments（PSI）。PSI制造原子力显微镜，后来出售给Thermo Electron。 PSI出售后，朴返回韩国，于1997年4月7日创立了PSIA。PSIA中的最后一个字母代表公司追求比早期PSI业务更先进技术的雄心。在最初几年，PSIA部分依赖销售进口的PSI产品，同时开发自己的产品和制造基地。从分销商和继承组织向原始设备开发商的转变是公司身份的核心。 2002年，PSIA推出了XE-100，被认为是韩国开发的第一台研究型AFM。该发布确立了公司的国内技术资质，并为后续的研究和工业系统奠定了基础。PSIA于2006年将总部迁至韩国先进纳米制造中心。2007年4月6日，公司更名为Park Systems，这一变化标志着其成立十周年，并赋予公司一个与其创始人及技术传承更紧密相关的名称。 公司的工程方法以AFM和扫描探针显微镜为中心。其系统使用解耦挠曲扫描器，其中样品由XY扫描器水平移动，探针由独立的Z扫描器垂直移动。Park Systems还推广一种“真非接触”模式，允许在探针尖端与样品表面不直接物理接触的情况下进行测量。2010年，韩国政府将公司的工业AFM技术指定为国家核心技术。 Park Systems日益瞄准半导体制造以及学术和工业研究。2015年3月23日，公司与IMEC启动了针对半导体生产的工业AFM技术联合开发项目。同年12月17日，Park Systems在KOSDAQ股票交易所上市，股票代码为140860。2020年2月17日，宣布与IMEC的第二个联合开发项目，继续在半导体导向计量方面的合作。 公司随后通过收购和相邻技术进行扩张。2022年9月6日，Park Systems宣布收购德国成像光谱椭偏仪和主动隔振台制造商Accurion GmbH。2025年初，Park Systems收购了瑞士数字全息显微镜制造商Lyncée Tec。这些收购将公司业务从AFM扩展到光学表征、振动控制和全息成像。Park Systems总部位于京畿道水原市，并在美国、日本、新加坡、台湾、德国和瑞士设有分支机构。
- 2025
收购Lyncée Tec
[1]Park Systems收购了瑞士数字全息显微镜公司Lyncée Tec。
- 2022
宣布收购Accurion
[1]Park Systems宣布收购Accurion GmbH及其椭偏仪和隔振业务。
- 2020
第二个IMEC开发项目宣布
[1]Park Systems与IMEC宣布了第二个联合开发项目。
- 2015
IMEC联合开发项目启动
[1]Park Systems与IMEC启动了一个项目，为半导体制造开发工业AFM技术。
- 2015
KOSDAQ上市
[1]Park Systems在KOSDAQ公开上市，股票代码为140860。
- 2010
工业AFM技术被指定为国家核心技术
[1]韩国将Park Systems的工业AFM技术指定为国家核心技术。
- 2007
PSIA更名为Park Systems
[1]公司于4月6日更名为Park Systems。
- 2006
总部迁至KANC
[1]PSIA将总部迁至韩国先进纳米制造中心。
- 2002
XE-100推出
[1]PSIA发布了XE-100，被描述为韩国第一台研究型AFM。
- 1997
PSIA成立
[1]朴相一于4月7日在韩国创立PSIA。
产品与定位
服务于学术研究、材料科学、生物技术、半导体制造及其他工业应用的高端科学仪器和纳米计量供应商。
科学显微镜和纳米计量
原子力显微镜
Park Systems的主要产品类别包括用于纳米尺度表面成像和测量的原子力显微镜。应用包括半导体检测、材料科学、生物技术和学术研究。公司的系统强调精确的扫描器控制、非接触测量选项，以及适用于实验室研究和工业过程计量的配置。
研究型原子力显微镜 · 2002
XE-100
XE-100于2002年推出，被描述为韩国开发的第一台研究型AFM。它代表了PSIA从早期依赖进口产品向内部开发和制造研究仪器的转变。
原子力显微镜
Park NX20
Park NX20是Park Systems的AFM平台，用于纳米级研究和表征。它属于公司更广泛的NX系列仪器，该系列将AFM技术应用于表面分析和材料研究。
高真空原子力显微镜
Park NX-Hivac
Park NX-Hivac是一款高真空AFM产品，适用于需要受控真空测量条件的应用。它是公司面向先进材料和工业研究的专业显微镜组合的一部分。
光学计量 · 2022
成像光谱椭偏仪
Park Systems通过收购Accurion进入成像光谱椭偏仪领域。这些系统表征光学特性和薄膜，补充了基于AFM的形貌和纳米级测量。
实验室基础设施 · 2022
主动隔振台
通过Accurion业务获得的主动隔振台，通过减少环境振动来帮助稳定敏感的显微镜和光学实验。它们支持高分辨率科学仪器所需的测量条件。
光学显微镜 · 2025
数字全息显微镜
Park Systems通过2025年初收购Lyncée Tec扩展到数字全息显微镜领域。该技术为公司现有的纳米级测量组合增加了定量光学成像能力。
品牌决策
2025
收购Lyncée Tec并购背景
数字全息显微镜提供了一种相邻的成像技术，可以补充Park Systems的纳米级测量活动。
采取的行动
Park Systems于2025年初收购了瑞士数字全息显微镜制造商Lyncée Tec。
后续影响
此次收购将公司扩展到数字全息显微镜领域，并加强了其更广泛的精密成像组合。
2022
收购Accurion并购背景
Park Systems寻求将其产品组合扩展到AFM之外的互补光学计量和实验室稳定技术。
采取的行动
公司宣布收购德国成像光谱椭偏仪和主动隔振台制造商Accurion GmbH。
后续影响
该交易将Park Systems的产品范围扩展到光学表征和振动控制设备。
2015
与IMEC深化半导体计量开发战略背景
半导体制造需要高度可重复、精确且日益自动化的纳米级测量技术。
采取的行动
Park Systems与IMEC启动了工业AFM技术联合开发项目，随后于2020年宣布了第二个项目。
后续影响
该合作巩固了Park Systems在工业和半导体领域的定位，超越了学术AFM研究。
2007
采用Park Systems名称战略背景
在作为PSIA运营第一个十年后，公司寻求一个与其创始人及长期国际身份相关的名称。
采取的行动
PSIA于2007年4月6日更名为Park Systems。
后续影响
新名称成为公司发展其国际科学仪器业务的身份。
近期事件
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