日本 Litho Tech 公司

日本 Litho Tech 公司（リソテックジャパン株式会社）是一家位于日本川口市的公司。其产品信息页面列出了涂布与显影设备、手动光刻胶涂布/显影装置、烘烤/冷却装置、HMDS 烘烤装置、光刻胶评价系统、光刻工艺解析曝光装置、光刻胶评价工具、光掩模产品、纳米压印设备、模拟器、膜厚测量装置、分光椭偏仪、硅晶圆厚度测量装置以及受托测量与受托研究服务。

日本 Litho Tech 公司是一家位于日本川口市的公司。其产品信息页面展示了多种光刻胶涂布、显影与烘烤设备、光刻胶评价系统与工具、光刻工艺解析曝光装置、光掩模产品、纳米压印设备、模拟器、膜厚与晶圆厚度测量装置，以及受托测量与受托研究服务。

• 自动光刻胶涂布/显影/烘烤装置

  LITHOTRAC 系列

• 手动光刻胶涂布/显影装置

  Litho Spin Cup 系列

• 手动烘烤/冷却装置

  LWB 系列

• 手动 HMDS 烘烤装置

  APPS 系列

• 光刻胶显影分析仪

  RDA 系列

• 光刻工艺解析曝光装置

  VUVES-4700i、UVES-2000、UVES-2500、ArFES-3000、EBES-6000、EUVES-7000、EUVES-9000、EUVOM-9000、LUVC-5000

• 光刻胶评价工具

  PAGA-100、WEXA-2、CPA-200、OGCS-550、DUVTA-180、ProxSim II

• 半导体曝光装置用光掩模（Benchmark Technologies 制造）

  Phase Shift Focus Monitor Reticle

• 纳米压印设备及相关装置

  LTNIP-500

• 模拟器

  PROLITH 2024a、ProDATA

• Foothill 膜厚测量装置

  KV-300、KF-10、L-2

• 分光椭偏仪

  UNECS-2000、UNECS-3000

• 硅晶圆厚度测量装置（Foothill）

  Si-71

1. 1リソテックジャパン株式会社ltj.co.jp
2. 2リソテックジャパン株式会社 製品情報ltj.co.jp
3. 3Litho Tech Japan Corporation (Japan)wikidata.org