新光精机株式会社

新光精机株式会社是一家制造和销售真空泵及设备的公司，如其官方网站标题所示。公司沿革页面显示其始于1949年，借用了川西机械制作所的工厂，此后开发了各种产品，包括真空泵、薄膜形成装置和等离子处理装置。

根据公司沿革页面，新光精机于1949年借用川西机械制作所的苅藻工厂开始运营。1951年开始制造真空泵设备和真空装置。1957年在通产省的工业化补助金支持下，成功实现了大型真空泵SMB-20,000型的国产化。1958年开始制造半导体相关设备，并完成了Ge用还原炉、精制炉、单结晶炉、合金炉。1962年成功商品化了具有高排气速度的高真空蒸着装置。1965年开发并商品化了使用电子束的超高真空多层膜蒸着装置、离子冲击装置和自动半田浴装置。1967年完成了IC烧成炉和真空烧结炉。1976年完成了量产用离子镀装置，确立了超硬皮膜和耐食性皮膜形成技术。1989年其多目的离子镀装置获得了协和技術振興センター的第1回中小企业优秀新技术、新产品奖。1999年滋贺守山工厂取得了ISO9001认证。

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