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Piezosystem Jena

德国压电微定位、纳米定位与计量解决方案制造商,1991年成立于耶拿。

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概览

piezosystem jena 是一家位于德国耶拿的公司,成立于1991年。该公司为半导体、航空航天、显微镜和同步辐射领域提供压电微定位、压电纳米定位和计量解决方案。其产品范围包括压电物镜定位器、倾斜台、多层压电致动器堆栈、光纤开关、压电放大器和控制软件,应用领域包括超分辨率显微镜、原子力显微镜、过程控制、半导体计量和同步辐射纳米定位。

沿革

piezosystem jena 成立于1991年,总部位于德国耶拿。该公司为半导体、航空航天、显微镜和同步辐射领域提供压电微定位、压电纳米定位和计量解决方案。公司开发压电柔性铰链平台和压电机械系统,服务于超分辨率显微镜、原子力显微镜、过程控制、半导体计量和同步辐射纳米定位等应用。公司在欧洲、亚洲和北美拥有合作伙伴和支持。

产品与定位

定制压电解决方案,在纳米定位方面拥有深厚经验,提供全面咨询和全球合作伙伴。

  • MIPOS 800 物镜定位器

    开环操作下提供高达800 µm的纳米定位扫描范围,使用应变片传感器闭环操作下为650 µm。共振频率高达100 Hz。闭环步进分辨率为12 nm。

  • PSH 20 和 PSH 35 倾斜台

    2轴倾斜台提供高达36 mrad的闭环倾斜范围和1 µrad分辨率。这些平台在0.7′镜面下提供高达1.4 kHz的共振频率。非常适合光束转向、激光扫描、扫描显微镜等。

  • CuX 多层压电致动器堆栈

    专为苛刻应用设计,得益于采用铜内电极的先进PZT材料,可在宽电压范围内工作,与常规压电堆栈相比行程增加20%。

  • 光纤开关

    压电驱动开关,专为快速切换(以毫秒计)、低损耗和高重复性而设计。标准开关配置从1输入到2输出,最高1输入到9输出。标准光纤直径范围为62.5至600微米。提供防潮型号。

  • NV200/D NET 压电放大器

    由PiSoWorks 2.1.1软件控制,并支持通过以太网和USB接口进行控制的Python库。

  • TRITOR 100 SG 三轴压电平台

    与NV 40/3 CLE控制器一起用于双探头主动对准架构,实现晶圆测试的快速光纤到芯片对准。

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