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Picosun Group

芬兰原子层沉积(ALD)薄膜镀膜设备制造商,现为应用材料公司旗下业务。

最近更新 2026年10月30日

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概览

Picosun Group 是一家芬兰科技公司,专注于原子层沉积(ALD)设备——这种薄膜镀膜技术用于在半导体晶圆、传感器、医疗器械、光学元件及其他先进基材上沉积超薄、均匀的薄膜层。公司于2000年代初由具有芬兰ALD研发背景的研究人员在芬兰创立,逐步成长为较知名的独立ALD设备制造商之一,向半导体、MEMS、LED、医疗及工业镀膜市场的客户销售PICOSUN™ R系列及批量/生产型平台等系统。 Picosun的商业模式将ALD反应器和集群系统的销售与工艺开发服务、镀膜服务相结合,在欧洲、亚洲和北美建立了全球客户群,在亚洲尤其活跃。其设备既用于研发也用于量产,公司定位为提供可用于生产的ALD设备,而不仅是实验室设备。 2022年,公司被美国大型半导体设备制造商应用材料公司收购,成为应用材料沉积产品线的一部分。在应用材料旗下,Picosun的ALD技术和团队被整合进应用材料更广泛的薄膜沉积产品组合,Picosun品牌继续与ALD设备及工艺解决方案相关联。公司总部位于芬兰埃斯波,其技术仍与先进半导体及特种镀膜应用密切相关。

沿革

Picosun Group于2000年代初在芬兰成立,依托该国在原子层沉积领域的长期研究传统——该技术最初于1970年代在芬兰开发。公司成立的目的是将ALD设备与工艺商业化,并开发了一系列ALD反应器,其中最著名的是PICOSUN R系列,面向研究和生产用途。 在2000年代和2010年代,Picosun拓展国际市场,设立销售与服务业务,并在半导体、MEMS、LED、医疗器械、光学及工业镀膜领域建立客户群。除设备销售外,公司还提供工艺开发和镀膜服务,并与研究机构和产业伙伴参与联合开发项目。公司成为受认可的独立ALD设备供应商之一,与规模更大的沉积设备制造商竞争。 2022年,美国大型半导体设备公司应用材料公司收购Picosun Group,将其ALD技术及团队纳入应用材料的薄膜沉积业务。此次收购反映了半导体设备行业的整合以及ALD在先进芯片制造中日益增长的重要性。Picosun的芬兰业务和ALD产品线在应用材料旗下继续运营,Picosun品牌仍与ALD设备及工艺专长相关联。

  • Picosun Group在芬兰成立,致力于原子层沉积设备的商业化。

  • 推出并扩展PICOSUN R系列ALD反应器产品线。

  • 在欧洲、亚洲和北美设立销售与服务业务,实现国际扩张。

  • 被应用材料公司收购,并整合进其沉积产品线。

产品与定位

面向半导体及先进镀膜应用、提供可用于量产的原子层沉积设备的专业供应商。

  • PICOSUN R系列ALD系统

    用于研究和生产薄膜镀膜的原子层沉积反应器。

  • 批量与集群ALD平台

    面向量产的规模化ALD设备。

  • ALD工艺开发与镀膜服务

    为客户提供工艺工程与薄膜镀膜服务。

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