泛解决方案技术株式会社

泛解决方案技术株式会社（Pan Solution Technologies Co., Ltd.）是一家日本公司，成立于2017年9月，总部位于东京都千代田区。公司业务涵盖半导体及太阳能电池材料领域，制造和销售半导体及太阳能电池材料检测设备，提供晶圆受托测量服务，并就半导体及太阳能电池材料技术提供咨询。公司由代表董事松岛悟领导，董事兼首席技术官为藤原航三（东北大学金属材料研究所教授），技术顾问为星裕介（东京都市大学工学部电气电子工程学科副教授）。其产品线包括点式和在线式晶圆质量检测系统，可测量缺陷密度、掺杂浓度以及晶圆表面和内部质量，支持最大12英寸晶圆。公司曾参加SEMICON Japan 2022和第十届创新领袖峰会等活动，并于2022年入选小规模事业者持续化补助金（一般型）。

泛解决方案技术株式会社（Pan Solution Technologies Co., Ltd.）于2017年9月在日本成立。公司成立的目的是满足半导体及太阳能电池材料领域对专业检测和测量解决方案的需求。公司总部位于东京都千代田区，资本金为7300万日元。领导层包括代表董事松岛悟、董事兼首席技术官藤原航三（东北大学教授）和技术顾问星裕介（东京都市大学副教授）。公司开发了点式和在线式晶圆质量检测系统，能够测量最大12英寸晶圆的缺陷密度和掺杂浓度。2022年，公司入选小规模事业者持续化补助金（一般型），并参加了SEMICON Japan 2022和第51届全国晶体生长会议。2024年，公司宣布搬迁办公室。

• 公司成立

• 入选小规模事业者持续化补助金（一般型）

• 出展SEMICON Japan 2022

• 出展第51届全国晶体生长会议

• 参加第十届创新领袖峰会

• 宣布办公室搬迁

专注于半导体及太阳能电池材料的检测与测量解决方案，致力于晶圆质量保证和良率提升。

• 点式晶圆质量检测系统

  测量晶圆表面和内部质量、缺陷密度和掺杂浓度。尺寸：W900 x D900 x H700 mm，重量约50 kg，电源单相AC 90-240 V。测量时间：每点10秒以下。探针接触式。样品尺寸最大12英寸。电阻率最大20.0 Ω·cm。适用于p/n型单晶。

• 在线式晶圆质量检测系统

  用于量产线上的全数检查。可定制同时测量的晶圆数量。按订单生产。尺寸：W2000 x D1500 x H1500 mm，重量约500 kg，电源单相AC 100-230 V。测量时间：每片1秒。探针接触式。样品尺寸最大12英寸。电阻率最大20.0 Ω·cm。适用于p/n型单晶。

1. 1株式会社パンソリューションテクノロジーズ Pan Solution Technologies Co., Ltd.psts.jp
2. 2会社概要 | 株式会社パンソリューションテクノロジーズ Pan Solution Technologies Co., Ltd.psts.jp
3. 3プロダクト | 株式会社パンソリューションテクノロジーズ Pan Solution Technologies Co., Ltd.psts.jp
4. 4Pan Solution Technologieswikidata.org