Onto Innovation

Onto Innovation Inc.是一家半导体设备和工艺控制公司，总部位于马萨诸塞州威尔明顿。该公司于2019年由Rudolph Technologies, Inc.和Nanometrics Incorporated合并而成，整合了双方在光学计量、检测、光刻、工艺控制和制造分析方面的互补能力。公司服务于半导体制造商和其他微电子生产商，其制造和封装工艺需要精确的测量和缺陷检测。 公司的技术组合覆盖半导体生产的多个阶段。其系统用于评估未图案化晶圆质量、测量薄膜和关键尺寸、检测晶圆和封装缺陷、分析金属互连成分，并提供用于良率管理和工厂分析的软件。Onto还为先进半导体封装提供光刻解决方案，随着芯片制造商采用晶圆级封装、凸点技术和硅通孔等技术在更小的物理尺寸内增加功能，这一领域变得越来越重要。 Onto的传统融合了两条成熟的技术路线。Rudolph Research起源于1940年，当时Otto Curt Rudolph创立了O.C. Rudolph & Sons，一家显微镜和科学仪器进口商。后来，该公司开发了光学实验室设备和半导体计量产品，包括用于测量透明薄膜的生产型椭偏仪。在1990年代经过投资和管理层变更后，该公司成为Rudolph Technologies, Inc.，并通过收购扩展到晶圆检测、良率计量、工艺控制软件、探针卡分析、三维计量、未图案化晶圆检测和先进封装光刻领域。 Nanometrics成立于1975年，作为光学计量领域的创新者建立了独立的声誉。它于1984年上市。Rudolph和Nanometrics在2016-2017年期间就潜在合并进行了讨论，两家公司最终于2019年10月30日完成了合并。合并后的公司采用了Onto Innovation的名称，并在纽约证券交易所上市，股票代码为ONTO。 Onto在全球主要半导体制造地区运营，并在美国新泽西州、明尼苏达州、加利福尼亚州、德克萨斯州、俄勒冈州和华盛顿州设有其他业务。其客户使用公司的仪器和软件来改进工艺控制、识别缺陷、监控材料和尺寸，并提高制造良率。因此，公司的业务定位是作为基础设施供应商，而不是面向消费者的芯片或电子产品品牌。其竞争优势在于将测量硬件、检测、光刻和数据驱动的工艺管理能力相结合，覆盖前端晶圆制造和后端组装与封装。

Onto Innovation的公司历史植根于两家半导体工艺控制企业的发展：Rudolph Technologies和Nanometrics。 Rudolph的传承始于1940年，当时Otto Curt Rudolph创立了O.C. Rudolph & Sons, Inc.。最初的公司进口显微镜和科学仪器，后来发展为实验室和大学光学设备的开发商。1970年10月，它更名为Rudolph Research Corporation。该公司在椭偏术和相关光学测量方法方面积累了专业知识，包括一种早期的生产型椭偏仪，用于测量透明薄膜。这些能力后来与半导体制造相关，因为控制沉积层的厚度和成分至关重要。 1996年6月，Rudolph Research首席执行官Richard Spanier与Riverside Partners、Liberty Partners和其他投资者组成了投资伙伴关系。Spanier从积极管理中退休，半导体行业资深人士Paul F. McLaughlin成为首席执行官。公司于1999年8月更名为Rudolph Technologies, Inc.，并于同年11月完成首次公开募股。在此期间，它推出了MetaPULSE系列铜膜测量工具，并扩大了制造能力。 随后，Rudolph Technologies通过一系列收购扩大了其能力。2002年，它收购了位于德克萨斯州理查森的缺陷控制业务ISOA，其技术被整合到Rudolph的良率计量集团中。公司还开始建立国际影响力，在上海开设了办事处，后来在日本、欧洲、韩国、台湾和新加坡建立了业务。2006年与August Technology的合并扩大了其员工队伍，并增加了与半导体制造后端相关的功能。2007年，Rudolph收购了Applied Precision的半导体业务，增加了探针卡测试和分析。进一步的交易带来了晶圆检测、工艺控制软件、良率管理技术、未图案化晶圆检测、三维计量和先进封装光刻。 后来的收购包括2008年RVSI Inspection的晶圆扫描仪技术、2009年Adventa Control Technologies、2010年MKS Instruments的Yield Dynamics业务、2012年NanoPhotonics GmbH和Azores Corp.、2013年Tamar Technology的部分资产，以及2015年Stella Alliance的检测技术。这些交易帮助Rudolph超越了单一的测量仪器，转向涵盖制造、检测、封装和制造分析的更广泛的工艺控制平台。 Nanometrics走了一条不同的道路。它成立于1975年，以光学计量和相关的半导体测量技术而闻名。公司于1984年开始公开交易。Rudolph和Nanometrics在2016年和2017年讨论了可能的合并，包括2016年首次签署并于2017年延长的相互保密协议。讨论最终导致了一项平等合并。 合并于2019年10月30日完成，由此产生的公司成为Onto Innovation。它保留了在纽约证券交易所的公开上市，股票代码为ONTO。新组织结合了Rudolph更广泛的检测、光刻和工艺控制产品组合与Nanometrics的光学计量传统。Onto Innovation总部位于马萨诸塞州威尔明顿，在美国新泽西州、明尼苏达州、加利福尼亚州、德克萨斯州、俄勒冈州和华盛顿州设有其他业务，并在重要的国际半导体制造地区开展客户和支持活动。 如今，Onto Innovation提供用于监控半导体晶圆、器件和封装的设备和软件。其范围包括未图案化晶圆质量、纳米级到大芯片的三维计量、宏观缺陷检测、金属互连分析、工厂分析和先进封装光刻。公司的历史发展反映了半导体行业向更严格的工艺公差、更复杂的封装以及对集成检测和制造数据更大依赖的转变。

• 2019

  Onto Innovation成立

  [1]Onto Innovationen.wikipedia.org

  Rudolph Technologies和Nanometrics于10月30日完成合并，创建了Onto Innovation。

• 2012

  扩展到先进封装光刻

  [1]Onto Innovationen.wikipedia.org

  Rudolph收购了Azores Corp.，并扩展到先进封装和平板显示光刻领域。

• 2006

  与August Technology合并

  [1]Onto Innovationen.wikipedia.org

  该交易扩大了Rudolph的员工队伍，并加强了其在半导体后端制造方面的能力。

• 1999

  Rudolph Technologies名称和公开募股

  [1]Onto Innovationen.wikipedia.org

  公司采用Rudolph Technologies名称并完成首次公开募股。

• 1996

  Rudolph Research资本重组并迎来新领导层

  [1]Onto Innovationen.wikipedia.org

  Richard Spanier安排了投资伙伴关系，从积极管理中退休，并由Paul F. McLaughlin接任首席执行官。

• 1984

  Nanometrics公开上市

  [1]Onto Innovationen.wikipedia.org

  Nanometrics开始公开交易。

• 1975

  Nanometrics成立

  [1]Onto Innovationen.wikipedia.org

  Nanometrics成立，作为服务于半导体制造的光学计量公司。

• 1970

  采用Rudolph Research Corporation名称

  [1]Onto Innovationen.wikipedia.org

  随着Rudolph业务开发光学仪器和测量技术，它更名为Rudolph Research Corporation。

• 1940

  O.C. Rudolph & Sons成立

  [1]Onto Innovationen.wikipedia.org

  Otto Curt Rudolph创立了后来成为Rudolph Technologies传承的企业。

半导体制造、封装和测试领域的专业工艺控制与检测合作伙伴，结合了计量硬件、缺陷检测、光刻和制造软件。

• 半导体计量

  光学和薄膜计量

  Onto的计量系统使用光学技术测量薄膜厚度、材料特性和其他晶圆特性。该产品基于Rudolph和Nanometrics在椭偏术和光学测量方面的传统，帮助半导体制造商监控沉积层并在晶圆制造过程中保持工艺一致性。

• 尺寸测量

  三维计量

  三维计量解决方案可测量从纳米级晶体管特征到更大的互连和封装结构等各种尺度的结构。随着器件几何形状和封装架构变得越来越复杂，这些测量支持工艺开发和生产控制。

• 缺陷检测

  晶圆和封装检测

  检测系统识别晶圆和半导体封装上的缺陷和不规则性。产品组合包括未图案化晶圆质量评估和宏观缺陷检测，使制造商能够定位污染、表面问题和其他可能降低良率的状况。

• 光刻 · 2012

  先进封装光刻

  Onto为先进半导体封装和相关应用提供光刻技术。这些系统支持与封装工艺相关的形成和图案化要求，这些工艺旨在连接和集成日益密集的半导体器件。

• 制造软件

  工厂分析和良率管理软件

  公司提供用于组织工艺控制信息、分析制造绩效和提高良率的软件和分析工具。这些工具通过将生产测量转化为可操作的工厂信息，补充了Onto的检测和计量硬件。

• 2019

  Rudolph Technologies与Nanometrics合并并购

  背景

  随着半导体制造商越来越需要集成的计量、检测和工艺控制能力，Rudolph Technologies和Nanometrics在2016年和2017年讨论了潜在的业务合并。

  采取的行动

  两家公司于2019年10月30日完成合并，成立了Onto Innovation，并合并了他们的半导体设备和软件产品组合。

  后续影响

  合并后的公司继续作为公开交易的半导体工艺控制供应商在纽约证券交易所上市，股票代码为ONTO。

  来源

• 2015

  Rudolph Technologies更换首席执行官其他

  背景

  在领导Rudolph Technologies之后，Paul F. McLaughlin宣布从首席执行官职位退休。

  采取的行动

  Rudolph Technologies任命Michael P. Plisinski为首席执行官兼董事。

  后续影响

  Plisinski随后成为通过Rudolph-Nanometrics合并成立的公司的首席执行官。

  来源

• 2012

  扩展到光刻领域战略

  背景

  Rudolph Technologies寻求将其半导体工艺控制业务扩展到检测和计量之外。

  采取的行动

  公司收购了Azores Corp.，增加了先进半导体封装和平板显示光刻的能力。

  后续影响

  该收购为后来成为Onto Innovation一部分的产品组合贡献了光刻能力。

  来源

• 2019

  Rudolph Technologies与Nanometrics完成合并，成立Onto Innovation[1]Onto Innovationen.wikipedia.org

  并购 · 人事变动

  Rudolph Technologies与Nanometrics合并，创建了Onto Innovation，作为一家合并后的半导体工艺控制公司。

• 2017

  Rudolph Technologies与Nanometrics寻求业务合并[1]Onto Innovationen.wikipedia.org

  并购

  两家半导体设备公司在2016年开始的早期战略对话之后，继续讨论可能的合并。

• 2015

  Michael P. Plisinski被任命为Rudolph Technologies首席执行官[1]Onto Innovationen.wikipedia.org

  人事变动

  Rudolph Technologies宣布Paul F. McLaughlin退休，并任命Michael P. Plisinski为首席执行官兼董事。

• 2012

  Rudolph Technologies扩展到先进封装和显示光刻领域[1]Onto Innovationen.wikipedia.org

  并购 · 产品发布

  公司收购了Azores Corp.，将其产品组合扩展到先进封装和平板显示光刻市场。

1. 1Onto Innovationen.wikipedia.org