诺瓦有限公司

Nova Ltd. 是一家以色列半导体设备公司，开发用于半导体制造的计量和工艺控制技术。其系统用于测量和分析晶圆尺寸、薄膜、材料特性、化学条件以及逻辑、存储、特种器件和先进封装生产中的其他制造参数。该公司提供集成计量（测量功能直接嵌入生产工具中）和独立系统（用于单独的检测或表征站）。 公司由 Giora Dishon 和 Moshe Finarov 于 1993 年 5 月创立。其早期发展专注于将更精确的测量引入半导体生产，因为日益缩小的特征尺寸使得传统采样和延迟质量检查效果不佳。Nova 的集成计量方法能够在更接近制造点的地方进行测量，并支持更严格的逐晶圆工艺控制。这一定位帮助公司与主要半导体制造商建立了关系，包括英特尔，后者于 1997 年成为客户和投资者。 Nova 在 1990 年代末开始向以色列以外扩张。1999 年，它在日本建立了子公司，并在新加坡开展业务，反映了亚洲半导体制造中心对其商业战略的重要性。公司于 2000 年在纳斯达克完成首次公开募股，并于 2002 年在特拉维夫证券交易所上市。这些上市提供了公共资本渠道，同时保持了与以色列科技市场的联系。 在 2000 年代和 2010 年代，Nova 通过收购扩大了其技术基础。2006 年收购 HyperNex 增加了微观结构分析能力。2015 年，Nova 以约 4650 万美元收购了美国 X 射线计量系统开发商 Revera。该交易扩大了公司表征复杂薄膜叠层的能力，并加强了其材料计量组合。Nova 随后在化学分析、尺寸测量、材料表征和基于软件的工艺控制方面寻求额外能力。 公司于 2021 年采用 Nova Ltd. 名称，取代了之前的 Nova Measuring Instruments 身份。2022 年 2 月，它以约 1 亿美元的全现金交易收购了德国化学分析提供商 ancosys GmbH。该交易将 Nova 的业务扩展到化学计量，并支持其向先进封装和后端半导体制造的扩张。2025 年初，Nova 以约 6000 万美元完成了对德国晶圆计量传感器开发商 Sentronics Metrology GmbH 的收购，为先进封装应用增加了进一步的尺寸计量能力。 Nova 目前的产品组合结合了光学技术、材料分析、化学计量、集成工艺控制系统和软件。其软件产品旨在帮助制造商解释测量结果、识别工艺变化并提高良率。公司还在选定的工艺控制工作流程中应用人工智能和机器学习方法。其客户运营的市场中，良率、工艺可重复性和快速检测制造偏差在经济上至关重要。 根据引用的参考材料，2024 财年，Nova 报告收入约为 6.724 亿美元，净利润约为 1.838 亿美元。收入同比增长 30%，净利润增长 35%；公司报告利润率为 27%，每股收益为 6.31 美元。Nova 仍然是一家活跃的上市半导体设备供应商，其增长日益与先进工艺节点、异构集成、先进封装以及更严格的材料和化学控制要求相关。

Nova Ltd. 由 Giora Dishon 和 Moshe Finarov 于 1993 年 5 月在以色列成立。从一开始，公司就专注于半导体计量：测量决定制造过程是否在规格范围内运行的物理、材料和化学特性。其发展受到半导体行业向更小几何尺寸和更复杂结构转变的影响，这增加了对快速、精确和过程集成测量的需求。 Nova 技术战略的核心要素是集成计量。集成系统将测量能力置于生产工具内或旁边，而不是仅依赖在单独检测站收集的测量结果。这使得可以在更接近制造点的地方获取过程信息，并用于逐晶圆控制。这种方法将 Nova 定位为工艺控制专家，而不仅仅是实验室式测量设备的供应商。 1997 年，英特尔成为客户和投资者。随后，Nova 于 1999 年通过在日本建立子公司和在新加坡开展业务进行国际扩张。这些举措使公司与主要的亚洲半导体制造市场建立了联系。Nova 于 2000 年在纳斯达克首次公开募股，随后于 2002 年在特拉维夫证券交易所上市。 公司通过收购寻求覆盖更多工艺控制工作流程。2006 年，Nova 收购了美国公司 HyperNex Inc.，该公司与微观结构分析工具相关。该交易扩大了 Nova 的材料表征能力。2015 年 4 月 2 日，Nova 以约 4650 万美元完成了对 Revera Inc. 的收购。Revera 的 X 射线计量技术为复杂薄膜叠层增加了测量能力，并支持了公司更广泛的材料计量战略。 在接下来的十年中，Nova 继续将有机产品开发与尺寸、材料和化学计量领域的收购相结合。2021 年，它将公司名称从 Nova Measuring Instruments 改为 Nova Ltd.。更名反映了一项业务已超越其最初的仪器身份，并日益围绕更广泛的工艺控制组合组织。 2022 年 2 月，Nova 以约 1 亿美元的全现金交易收购了德国化学分析解决方案提供商 ancosys GmbH。此次收购增加了化学监测专业知识，并支持 Nova 向先进封装和后端制造的进军。2025 年初，Nova 以约 6000 万美元完成了对德国晶圆计量传感器开发商 Sentronics Metrology GmbH 的收购。该交易进一步扩大了先进封装应用的尺寸计量覆盖范围。 Nova 目前的业务涵盖集成和独立系统、光学和材料技术、化学分析、尺寸测量和软件。公司服务于逻辑、存储、特种器件和先进封装制造商。其工艺控制系统旨在帮助客户检测变化、提高良率并管理日益复杂的制造流程。公司还因协作计量研究而获得行业认可，包括与 GlobalFoundries、IBM Research 和 Samsung Electronics 合作相关的奖项。

• 2025

  收购 Sentronics Metrology

  [1]Nova Ltd.en.wikipedia.org

  Nova 完成了对 Sentronics Metrology GmbH 的约 6000 万美元收购。

• 2022

  收购 ancosys

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  Nova 以约 1 亿美元的全现金交易收购了 ancosys GmbH。

• 2021

  公司更名

  [1]Nova Ltd.en.wikipedia.org

  Nova Measuring Instruments 更名为 Nova Ltd.。

• 2015

  收购 Revera

  [1]Nova Ltd.en.wikipedia.org

  Nova 完成了对 Revera 的约 4650 万美元收购，扩大了其 X 射线和复杂薄膜叠层计量组合。

• 2006

  收购 HyperNex

  [1]Nova Ltd.en.wikipedia.org

  Nova 收购了 HyperNex Inc.，增加了微观结构分析能力。

• 2002

  特拉维夫证券交易所上市

  [1]Nova Ltd.en.wikipedia.org

  公司的股票也在特拉维夫证券交易所上市。

• 2000

  纳斯达克首次公开募股

  [1]Nova Ltd.en.wikipedia.org

  Nova 在纳斯达克完成了首次公开募股。

• 1999

  在亚洲进行国际扩张

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  Nova 在日本建立了子公司，并在新加坡开展了业务。

• 1997

  英特尔成为客户和投资者

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  英特尔成为客户和投资者，为 Nova 提供了与领先半导体制造商的重要联系。

• 1993

  Nova 成立

  [1]Nova Ltd.en.wikipedia.org

  Giora Dishon 和 Moshe Finarov 于 1993 年 5 月在以色列创立了该公司。

先进的半导体工艺控制和计量，结合集成和独立测量系统，具备材料、化学、尺寸和软件能力。

• 工艺控制

  集成计量系统

  Nova 的集成计量系统将测量能力嵌入半导体生产工具中或附近。它们在制造过程中提供工艺信息，并支持逐晶圆控制，使晶圆厂能够比仅依赖离线采样的工作流程更早地识别变化。这项技术在工艺窗口狭窄且快速反馈可以提高良率和设备控制的情况下尤其重要。

• 半导体计量

  尺寸计量

  尺寸计量解决方案测量半导体结构和晶圆的物理特性。它们用于监控先进制造过程中的关键尺寸、轮廓和其他几何参数。Nova 通过内部开发和收购 Sentronics Metrology 扩展了这一领域，应用包括先进封装和日益复杂的器件架构。

• 材料表征

  材料计量

  Nova 的材料计量组合解决薄膜厚度、成分和多层结构特性等属性。收购 HyperNex 增加了微观结构分析能力，而 Revera 交易则扩展了复杂薄膜叠层的 X 射线测量。这些工具帮助制造商控制沉积材料并了解工艺条件如何影响器件性能。

• 化学工艺控制 · 2022

  化学计量与分析

  化学分析系统监控工艺化学和相关制造条件。Nova 通过 2022 年收购 ancosys GmbH 加强了这项业务。由此产生的能力支持半导体前端工艺以及后端和先进封装应用，其中化学均匀性和控制会影响可靠性、吞吐量和良率。

• 制造软件

  计量软件与分析

  Nova 在其测量硬件之外还提供软件和分析功能。这些工具组织计量数据，支持工艺监控，并帮助制造商检测生产步骤中的偏差。公司将其更广泛的解决方案描述为在选定的工艺控制工作流程中融入人工智能和机器学习技术。

• 2025

  收购 Sentronics Metrology GmbH并购

  背景

  Nova 寻求扩展先进封装应用的尺寸计量。

  采取的行动

  公司以约 6000 万美元完成了对德国晶圆计量传感器开发商 Sentronics Metrology 的收购。

  后续影响

  该交易增加了与先进封装相关的传感器和尺寸计量能力。

  Acquisition value. Approximately US$60 million (Early 2025)

  来源

• 2022

  收购 ancosys GmbH并购

  背景

  Nova 旨在加强化学分析并扩展到后端和先进封装市场。

  采取的行动

  公司以约 1 亿美元的全现金交易收购了德国化学分析提供商 ancosys。

  后续影响

  此次收购扩大了 Nova 的化学计量能力及其对先进封装应用的覆盖。

  Acquisition value. Approximately US$100 million (February 2022)

  来源

• 2021

  更名为 Nova Ltd.战略

  背景

  公司已从早期的测量仪器身份扩展到更广泛的工艺控制和计量业务。

  采取的行动

  Nova Measuring Instruments 采用了 Nova Ltd. 的公司名称。

  后续影响

  更名使公司身份与涵盖尺寸、材料和化学计量的更广泛产品组合保持一致。

  来源

• 2015

  收购 Revera Inc.并购

  背景

  Nova 寻求扩大其材料计量和薄膜叠层测量能力。

  采取的行动

  公司以约 4650 万美元完成了对美国 X 射线计量解决方案开发商 Revera 的收购。

  后续影响

  该交易为 Nova 的产品组合增加了复杂薄膜叠层的 X 射线计量。

  Acquisition value. US$46.5 million (2015)

  来源

1. 1Nova Ltd.en.wikipedia.org