日新离子设备株式会社
一家总部位于京都的半导体和平面显示器离子注入设备制造商。
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概览
日新离子设备株式会社是一家总部位于日本京都的公司,成立于1999年4月1日。它是日新電機株式会社的全资子公司。公司开发、设计、制造、销售和维护半导体制造设备和平面显示器制造设备。它在全球范围内提供离子注入设备及相关服务。
沿革
该公司于1999年4月1日成立,承接了日新電機株式会社的制造业务。其历史可追溯至1973年,当时日新電機与HVEE进行技术合作,1974年开始生产离子注入设备。多年来,公司开发了各种离子注入系统,包括用于半导体和平面显示器的系统。2001年,在台湾设立合资公司,并在上海开设代表处。2002年,在韩国和中国设立子公司,并开设新加坡分公司。2005年,开设滋贺工厂和等离子技术开发中心。2010年,在美国设立全资子公司。2011年,在中国设立生产子公司,并开发了世界首创的适用于第5.5代和第6代基板的离子注入设备。
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