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奈恩斯光伏

爱尔兰企业,开发用于硅太阳能电池制造的专利常压干法刻蚀(ADE)设备。

最近更新 2026年9月27日

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概览

奈恩斯光伏(Nines Photovoltaics)是一家总部位于爱尔兰都柏林的技术公司,为光伏(PV)太阳能电池制造行业开发和供应工业干法刻蚀设备。公司成立于2010年,专注于为国际光伏太阳能电池制造领域带来创新的工艺技术、机械和设备。它是Nines Engineering的姐妹公司,后者是一家爱尔兰公司,于2007年基于创始人在半导体制造行业的经验而成立。 公司的核心产品是其专利ADE(常压干法刻蚀)技术,这是一种独特的低成本气相硅刻蚀工艺。与反应离子刻蚀(RIE)不同,ADE不需要昂贵的真空泵或等离子体模块,是纯化学刻蚀过程,不涉及离子。该工艺不使用水,也不产生温室气体,与传统湿法刻蚀方法相比环境影响低。Nines表示,其干法刻蚀工具在非常紧凑的封装中提供卓越的效率、刻蚀速率和更严格的工艺控制,且功耗低,从而带来极低的总拥有成本。 奈恩斯光伏提供一系列围绕ADE技术的标准加工工具。ADE-100面向研发和中试生产线,采用单通道在线加工布局,占地面积小,适合实验室环境。ADE单面刻蚀系列是面向批量生产的工业产品平台,具有多通道配置,产能超越当前行业路线图。ADE SS POLY-ETCH专为多晶硅层单面刻蚀设计,特别适用于TOPCon太阳能电池及其他使用钝化接触的先进架构。正在开发的其他工具包括用于单面边缘隔离的ADE SS E-ETCH和用于硅片单面织构化的ADE SS nano-TEX,面向串联器件底电池和钙钛矿沉积。 公司由创始人兼首席执行官爱德华·达菲领导,他自1996年以来一直从事半导体资本设备业务;首席技术官Laurent Clochard于2008年加入Nines。奈恩斯光伏总部位于爱尔兰都柏林24区都柏林理工大学塔拉校区的Synergy中心。公司向国际太阳能电池制造商销售设备,将ADE定位为面向未来的可持续制造技术,帮助行业摆脱耗水的湿法刻蚀工艺。

沿革

奈恩斯光伏成立于2010年,拥有一支专注的团队,致力于为国际光伏(PV)太阳能电池制造行业带来创新的工艺技术、机械和设备。公司总部位于爱尔兰都柏林,是Nines Engineering的姐妹公司,后者是一家爱尔兰公司,于2007年基于创始人在半导体制造行业的经验、知识和人脉而成立。2009年,管理团队发现了光伏领域的机遇,可以将其丰富的半导体行业知识带入该领域,通过开发新型加工技术为行业增值。 创始人兼首席执行官爱德华·达菲自1996年以来一直从事半导体资本设备业务。他曾是应用材料公司的首席工程师,负责英特尔全球账户的新设备安装和工艺认证,并曾在Magnetic Solutions担任研发工程经理,负责其首批半导体制造机床的开发。他于2007年创立Nines,以满足光伏太阳能电池制造市场的需求。首席技术官Laurent Clochard自1998年以来一直从事研究、技术转让和产品开发,在国际上参与过多个技术衍生公司,在半导体和光伏市场拥有丰富的产品开发经验;他于2008年加入Nines。 公司开发了其专有的ADE(常压干法刻蚀)技术,这是一种用于光伏太阳能电池制造行业的独特低成本气相刻蚀工艺。ADE由Nines PV申请专利,与反应离子刻蚀(RIE)不同,不需要昂贵的真空泵或等离子体模块,是纯化学刻蚀过程,不涉及离子。该工艺不使用水,也不产生温室气体,环境影响低。Nines表示,随着太阳能行业指数级扩张,选择低影响制造技术至关重要,ADE使太阳能电池制造商能够摆脱具有大环境足迹、高电力需求和水资源影响的传统湿法刻蚀方法。 奈恩斯光伏提供一系列以ADE技术为核心的标准加工工具。ADE-100非常适合研发和中试生产线,引入工艺灵活性和易用性,以集成和开发新的电池架构和工艺流程,采用单通道在线加工布局,占地面积小,适合实验室环境。ADE单面刻蚀系列是面向工业电池制造商批量生产的产品平台,具有一流的产能。ADE SS POLY-ETCH是ADE-100的多通道工业就绪版本,专用于使用钝化接触(TOPCon)的电池制造中的多晶硅绕镀去除,被描述为从实验室到工厂。工业工具采用多条平行加工线和与开发工具类似的大气压化学反应器设计,工业工艺与刻蚀气体的现场生成兼容,从而进一步降低总拥有成本。ADE SS POLY-ETCH能够以极高的刻蚀速率选择性地从晶圆一侧去除几百纳米的a-Si或多晶硅,具有非金属软处理传送带、低温工艺、多通道模块化设计,每通道高达3,000片/小时,总产能高达24,000片/小时。 正在开发的其他工具包括ADE SS E-ETCH,专为超高产能的单面边缘隔离电池工艺开发,以及ADE SS nano-TEX,一种新的纳米织构化工艺,设计用于硅片单面织构化,以满足串联器件底电池和钙钛矿沉积的需求。公司继续在EUPVSEC 2024维也纳等行业会议上展示其最新开发成果,并通过LinkedIn传播新闻。奈恩斯光伏总部位于爱尔兰都柏林24区都柏林理工大学塔拉校区的Synergy中心,D24 A386。

  • 2025

    于1月23日宣布在LinkedIn上发布最新消息。

  • 2024

    于9月24日在维也纳EUPVSEC 2024上出席并展示最新开发成果。

  • 2010

    奈恩斯光伏在爱尔兰都柏林成立。

  • 2009

    管理团队发现光伏领域的机遇。

  • 2008

    Laurent Clochard加入Nines。

  • 2007

    姐妹公司Nines Engineering在爱尔兰成立。

产品与定位

面向光伏太阳能电池制造行业的低成本、可持续、面向未来的干法刻蚀设备。

  • ADE-100

    研发和中试生产干法刻蚀工具,采用单通道在线加工布局,占地面积小。

  • ADE单面刻蚀系列

    面向批量生产的工业产品平台,具有多通道配置和一流的产能。

  • ADE SS POLY-ETCH

    用于单面多晶硅刻蚀的多通道工业工具,特别适用于TOPCon太阳能电池。

  • ADE SS E-ETCH

    开发中;用于超高产能的单面边缘隔离电池工艺。

  • ADE SS nano-TEX

    开发中;用于硅片单面织构化的纳米织构化工艺,面向串联器件底电池和钙钛矿沉积。

来源5 个来源

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