MKS仪器
全球领先的精密仪器、子系统、过程控制技术和特种化学品供应商，服务于半导体和先进工业制造。
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概览
MKS仪器是一家总部位于马萨诸塞州安多弗的科技公司，为需要精确测量、控制、电力输送、材料加工和分析能力的制造商和研究机构提供服务。其主要市场包括半导体制造、印刷电路板生产、先进半导体封装、电子、光子学、生命科学、研究和特种工业制造。MKS并非主要作为面向消费者的产品品牌运营，而是作为一个高度专业化的业务线组合，其产品被整合到生产工具、工厂系统、实验室和工业流程中。 公司起源于1961年，当时工程师Ken Harrison和John A. Dillon创立了MKS，并开发了Baratron电容压力计。该仪器用于测量严苛的真空和半导体加工环境中的气体压力，成为公司后续专注于过程测量和控制的重要基础。随着时间的推移，MKS从压力测量扩展到质量流量控制、气体和蒸汽输送、真空系统、过程监控、等离子体电源、射频和直流电源输送、光子学、激光系统和特种化学品。 MKS的扩张既通过内部产品开发，也通过收购推动。在1990年代，集成电路、微处理器和个人计算的增长增加了对可靠真空、气体流量和过程控制技术的需求。MKS扩大了其国际销售和服务网络，同时增加了半导体和薄膜制造的能力。1999年，公司通过纳斯达克首次公开募股上市。随后几年的收购增加了过程监控、等离子体电源、软件、真空、光子学、激光加工和先进制造技术。重要交易包括2000年收购Spectra International，2001年收购ASTeX，2002年收购Emerson Electric的ENI部门，2008年收购Umetrics，2010年收购Granville-Phillips，2012年收购Plasmart，2016年收购Newport Corporation，以及2019年收购Electro Scientific Industries。 收购Newport显著扩大了MKS在光子学、光学、激光和精密测量业务（包括Spectra-Physics和Ophir Optronics）中的可寻址市场。收购ESI增加了激光微加工和光子制造系统，特别用于印刷电路板和其他精密制造应用。2022年，MKS完成了对Atotech的收购，将特种化学品、设备和表面处理技术纳入产品组合。Atotech的能力将MKS扩展到装饰性和功能性涂层、电子电镀和工业表面处理。 因此，MKS结合了多个与先进制造战略相关的技术类别：压力和真空测量、流量和气体控制、过程诊断、等离子体生成、射频电源、激光、光学、运动和精密仪器、过程软件以及化学表面处理。半导体相关产品历来占公司销售额的很大比例；参考资料指出，2021年半导体约占销售额的60%。其他服务市场提供了多元化，同时也使公司面临工业和科技投资周期的影响。 该品牌的定位是高性能的企业对企业技术供应商。其价值主张集中在过程可重复性、测量精度、污染控制、正常运行时间、良率提升以及集成到复杂制造设备中。MKS产品通常通过直接商业关系、技术销售组织、服务运营以及设备制造商或工业客户渠道销售，而非通过传统零售分销。公司继续……
沿革
MKS仪器由工程师Ken Harrison和John A. Dillon于1961年创立。创始人的第一款主要产品是Baratron电容压力计，一种用于测量半导体晶圆制造腔室中气体压力的设备。这一早期重点确立了公司在真空和其他严苛过程环境中围绕精密测量和控制的长期定位。 在1990年代，半导体制造的扩张创造了对能够以高重复性调节压力、气体流量、蒸汽输送和过程条件的技术需求。MKS扩大了产品范围和国际影响力，在欧洲、亚洲以及其他重要技术市场建立了销售和服务能力。公司于1999年完成首次公开募股，并在纳斯达克上市。 MKS通过收购扩展其技术组合。2000年，它收购了Spectra International，增加了基于质谱仪和光谱仪的工艺监控产品。2001年，它收购了Applied Science and Technology（通常称为ASTeX），一家溅射及相关设备的供应商。2002年，它收购了Emerson Electric的ENI部门，该部门提供固态射频和直流等离子体电源、匹配网络和仪器。这些交易将MKS从测量扩展到等离子体处理和电力输送。 公司于2008年收购了Umetrics，增加了多变量数据分析和实验设计软件。2010年，它收购了Granville-Phillips，一家用于半导体、薄膜和一般工业应用的真空测量和控制产品供应商。MKS于2012年收购了韩国射频等离子体系统供应商Plasmart，加强了其等离子体技术能力。 2016年，MKS以全现金杠杆交易收购了Newport Corporation。Newport带来了光子学、光学、激光、运动和精密仪器，包括Spectra-Physics和Ophir Optronics业务。根据参考资料，该交易使MKS的可寻址市场增加了一倍以上，并实质性地使公司多元化，超越了核心半导体过程控制产品。 MKS于2018年底宣布收购Electro Scientific Industries，并于2019年完成交易。ESI贡献了激光微加工、基于激光的先进制造系统和光子精密设备，特别用于印刷电路板和相关电子应用。到2021年，半导体产品约占MKS销售额的60%，这既说明了公司原始市场的重要性，也说明了其更广泛的工业组合的持续贡献。 2022年，MKS以现金和MKS普通股相结合的方式收购了Atotech。Atotech增加了用于装饰性和功能性表面处理的特种化学品、设备和工艺技术。其应用包括电子电镀、印刷电路板、半导体封装、汽车零部件和其他工业产品。此次收购将MKS扩展到化学工艺技术和表面处理，同时补充了其现有的先进制造业务。 MKS目前的产品组合涵盖压力和真空测量、气体和蒸汽输送、流量控制、过程监控、等离子体电源、射频系统、光子学、激光、精密设备、制造软件、特种化学品和表面处理系统。这些业务服务于设备制造商、半导体生产商、电子制造商、工业客户、实验室和研究机构。MKS还强调知识产权开发；所提供的参考资料报告称，截至2024年约有750项有效专利。2023年12月，公司宣布了到2030年将范围1和范围2排放总量从2022年基线减少42%的目标，使用与科学碳目标倡议相关的标准。
- 2023
宣布排放目标
[1]MKS宣布了到2030年将范围1和范围2排放总量从2022年基线减少42%的目标。
- 2022
收购Atotech
[1]MKS收购了Atotech，增加了特种化学品和表面处理设备及技术。
- 2019
收购Electro Scientific Industries
[1]MKS收购了ESI，增加了激光微加工和光子精密制造系统。
- 2016
收购Newport
[1]MKS收购了Newport Corporation，将光子学、光学、激光和精密仪器业务纳入集团。
- 2012
收购Plasmart
[1]MKS收购了韩国射频等离子体系统供应商Plasmart。
- 2010
收购Granville-Phillips
[1]MKS收购了Granville-Phillips，扩大了其真空测量和控制产品组合。
- 2008
收购Umetrics
[1]MKS收购了瑞典软件公司Umetrics，增加了多变量数据分析和实验设计能力。
- 2002
收购ENI部门
[1]MKS收购了Emerson Electric的ENI部门，增加了射频和直流等离子体电源、匹配网络和仪器。
- 2001
收购ASTeX
[1]MKS收购了Applied Science and Technology，扩展到溅射及相关半导体加工设备。
- 2000
收购Spectra International
[1]MKS收购了Spectra International，增加了基于质谱仪和光谱仪的工艺监控产品。
产品与定位
高性能的企业对企业技术供应商，专注于精密测量、过程控制、等离子体和电力输送、光子学、先进制造以及特种表面处理应用。
压力测量 · 1961
Baratron电容压力计
Baratron仪器通过电容式传感测量气体压力。它们是MKS的基础产品，与需要稳定、可重复压力测量的半导体和真空工艺相关。该产品系列代表了公司对精确过程仪器的历史重视。
流量控制
质量流量控制器和气体输送系统
MKS提供用于控制和输送半导体、薄膜及其他受控制造过程中使用的气体和蒸汽的设备。这些系统旨在一致地调节流量和成分，支持生产工具中的过程可重复性、良率和均匀性。
真空技术
真空测量和控制系统
公司的真空产品组合包括用于半导体制造、薄膜涂层、研究和一般工业应用的真空计、压力仪器和控制产品。Granville-Phillips加强了这一产品领域，并补充了MKS早期的压力测量技术。
等离子体电源 · 2002
射频和直流等离子体电源系统
MKS提供固态射频和直流电源、匹配网络、仪器及相关等离子体系统。这些产品支持半导体蚀刻、沉积、溅射等工艺，以及需要将电能耦合到等离子体并加以控制的应用。
光子学 · 2016
光子学和激光系统
通过Newport、Spectra-Physics和Ophir业务，MKS提供激光器、光学元件、光束传输技术、光学测量设备及相关精密系统。这些产品服务于科学研究、工业加工、医疗器械制造以及其他需要受控光生成或测量的应用。
激光制造 · 2019
ESI先进制造系统
ESI业务贡献了用于印刷电路板和其他先进制造应用的激光微加工和光子精密设备。这些系统设计用于精细材料去除、钻孔、打标及相关高精度生产任务。
特种化学品和电镀 · 2022
Atotech表面处理技术
Atotech增加了用于装饰性和功能性表面处理的特种化学品、电镀工艺及相关设备。应用包括电子、印刷电路板、半导体封装、汽车零部件和其他需要受控涂层或表面处理的工业产品。
品牌决策
2022
收购Atotech并购背景
MKS寻求扩展到电子和工业应用的特种化学品和表面处理技术领域。
采取的行动
MKS以现金和MKS普通股相结合的方式收购了Atotech。
后续影响
Atotech将MKS扩展到电镀化学、表面处理及相关设备。
Transaction value. Approximately $4.4 billion (2022)
2019
收购Electro Scientific Industries并购背景
MKS寻求增加在激光先进制造和印刷电路板生产方面的业务。
采取的行动
MKS在2018年底宣布交易后收购了ESI。
后续影响
此次收购增加了激光微加工和光子精密制造系统。
Transaction value. $1 billion (2019)
2016
收购Newport Corporation并购背景
MKS旨在扩展到核心半导体过程控制市场之外，进入光子学、光学、激光和精密仪器领域。
采取的行动
MKS以全现金杠杆交易收购了Newport。
后续影响
Newport及其Spectra-Physics和Ophir业务显著扩大了MKS的可寻址市场。
Transaction value. Approximately $980 million (2016)
1999
近期事件
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