费迪南德·布劳恩研究所

费迪南德·布劳恩研究所（Ferdinand-Braun-Institut，莱布尼茨高频技术研究所，简称FBH）是德国的一家应用研究机构，位于柏林阿德勒斯霍夫科技与经济园区。它是戈特弗里德·威廉·莱布尼茨科学共同体成员，致力于将先进的半导体科学与可用的组件、系统、中试生产和工业应用联系起来。其工作围绕III-V族化合物半导体技术展开，包括氮化镓、砷化镓和磷化铟，以及光子学、微波电子学、激光源、紫外器件和集成量子技术。 该研究所于1992年1月1日根据德国科学委员会的建议重新成立。其机构渊源可追溯至前东德科学院的光学与光谱学中央研究所和电子物理中央研究所的部分机构。研究所以物理学家费迪南德·布劳恩的名字命名，他对无线电报的贡献使其获得了1909年诺贝尔物理学奖。 FBH的研究组合涵盖器件物理以及制造和鉴定器件所需的技术。在III-V电子学领域，它开发氮化镓微波晶体管和单片微波集成电路、用于无线基础设施的功率放大器、用于毫米波和太赫兹应用的磷化铟异质结双极晶体管电路、快速激光二极管驱动器、微波等离子体源和氮化镓功率电子器件。其光子学工作包括高功率二极管激光器、高亮度和窄线宽激光源、混合集成连续波和脉冲激光模块、蓝色和紫外氮化物激光二极管以及短波紫外LED。 该研究所的集成量子技术活动包括电光组件、混合微集成模块、基于超冷原子和纳米结构金刚石系统的量子传感器。其III-V技术能力包括金属有机气相外延、氢化物气相外延、原位过程监测、体晶体生长、晶圆加工、激光微加工、贴装、组装、材料分析和器件测量。FBH运营着符合工业标准的洁净室和工艺基础设施，覆盖2至4英寸晶圆以及GaAs、InP、SiC和GaN等材料。 除了基础和应用研究，FBH还提供原型制作、外延、工艺开发、中试生产、射频测量咨询、电路仿真及相关工程服务。它与德国及国外的大学、研究组织和工业公司合作，包括与柏林工业大学和柏林洪堡大学保持紧密的学术联系。自2017年起，它参与了德国微电子研究制造网络“Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland”。 该研究所还支持基于其研究的技术公司的创建。例如TESAG（后与Jenoptik关联）、开发高功率激光二极管的eagleyard Photonics、专注于GaN晶体管的BeMiTec、BEAPLAS、Brilliance Fab Berlin和Phasor Instruments、UVphotonics以及BeamXpert。这些活动反映了FBH作为公共研究、半导体工艺开发和商业技术转移之间桥梁的作用。2023年，该研究所约有370名员工，其中包括约200名科学家和30名学生。

FBH源于前东德科学院的科研机构。其前身包括光学与光谱学中央研究所和电子物理中央研究所的部分机构。德国统一后，科学委员会建议重新建立该研究所，并于1992年1月1日生效。新研究所以德国物理学家费迪南德·布劳恩命名，他因对无线电报的贡献而获得1909年诺贝尔物理学奖。 重新建立后，FBH在柏林阿德勒斯霍夫发展成为一个应用研究组织，该地区是科学、技术和商业活动的重要集中地。其职责围绕III-V族化合物半导体以及将实验室成果转化为适合外部合作伙伴的组件、制造工艺和系统。该研究所的活动扩展到微波电子学、光子学、外延、器件制造、封装、测量和仿真。 在III-V电子学领域，FBH建立了氮化镓微波和功率器件、微波集成电路、磷化铟异质结双极晶体管技术、太赫兹电子学和紧凑型等离子体源的能力。在光子学领域，它开发了高功率二极管激光器、高亮度源、混合激光模块、紫外激光二极管和紫外LED。其技术基础设施包括洁净室加工、通过MOVPE和HVPE进行的外延、晶圆级制造、激光微加工、组装、表征和材料分析。 该研究所还加强了在量子技术方面的作用，包括电光和混合集成组件、使用超冷原子和金刚石系统的传感器。除了研究项目外，它还向合作伙伴组织提供原型制作、工艺开发、中试系列生产、外延、射频测量支持和仿真专业知识。其合作包括德国和国际上的大学、研究组织和公司，尤其与柏林工业大学和柏林洪堡大学联系紧密。 FBH通过分拆和商业合作进行技术转移。在不同时期建立的员工主导的企业涉及外延材料、高功率激光二极管、GaN晶体管、大气压等离子体源、传感器和显示半导体技术、微波仪器、紫外LED和光学系统仿真。TESAG成立于1999年，后来成为Jenoptik的一部分。其他有记录的企业包括2002年的eagleyard Photonics、2006年的BeMiTec、2013年的三家、2016年的UVphotonics和2017年的BeamXpert。 该研究所于2017年加入Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland，巩固了其在德国协调微电子研究基础设施中的地位。京特·特伦克尔从1996年到2023年领导该研究所。帕特里克·舍勒于2024年成为科学常务董事，而卡琳-伊雷妮·艾尔曼自2022年起担任行政常务董事。该研究所报告的2023年员工人数约为370人，包括科学家和学生，其活动仍侧重于应用研究而非消费品牌制造。

• 2017

  BeamXpert成立并加入FMD

  [1]Ferdinand-Braun-Instituten.wikipedia.org

  BeamXpert成立，用于光学系统仿真，FBH加入Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland。

• 2016

  UVphotonics分拆

  [1]Ferdinand-Braun-Instituten.wikipedia.org

  一家专注于紫外LED技术的企业从FBH相关研究中成立。

• 2013

  另外三家分拆公司成立

  [1]Ferdinand-Braun-Instituten.wikipedia.org

  BEAPLAS、Brilliance Fab Berlin和Phasor Instruments围绕等离子体源、半导体技术和微波测量成立。

• 2006

  BeMiTec成立

  [1]Ferdinand-Braun-Instituten.wikipedia.org

  BeMiTec成立，旨在开发和商业化用于通信和其他应用的高功率氮化镓晶体管。

• 2002

  eagleyard Photonics成立

  [1]Ferdinand-Braun-Instituten.wikipedia.org

  该分拆公司开始与FBH合作开发用于医疗、科学和工业用途的高功率激光二极管。

• 1999

  TESAG分拆公司成立

  [1]Ferdinand-Braun-Instituten.wikipedia.org

  FBH员工成立了Three-Five Epitaxial Services AG，生产半导体层系统；该公司后来成为Jenoptik的一部分。

• 1992

  研究所重新成立

  [1]Ferdinand-Braun-Instituten.wikipedia.org

  FBH于1992年1月1日根据科学委员会的建议重新成立，其前身来自前东德科学院。

一个公共的、面向应用的半导体和光子学研究机构，将化合物半导体科学转化为器件、工艺、原型和工业相关系统。

• III-V电子学

  GaN微波晶体管和MMIC

  用于高频无线基础设施的研究和开发成果，包括氮化镓晶体管、功率放大器和单片微波集成电路。

• 光子学

  高功率二极管激光器

  用于科学、工业、医疗、传感和计量应用的宽面激光器、激光巴条和高亮度或窄线宽二极管源。

• 光子学

  混合集成激光模块

  覆盖近红外到紫外波长的连续波和脉冲激光模块，包括用于生物光子学、激光传感、计量和量子传感器的系统。

• 紫外光子学

  紫外激光二极管和LED

  基于氮化物的蓝色和紫外激光二极管以及短波紫外LED，用于传感、消毒、医疗技术和生产应用。

• 集成量子技术

  量子技术组件

  为新兴量子应用开发的电光组件、混合微集成模块、超冷原子量子传感器和纳米结构金刚石系统。

• III-V技术

  半导体外延和工艺服务

  为GaAs、GaN、InP、SiC及相关半导体技术提供外延层生长、工艺开发、器件原型制作、中试生产、组装、测量和咨询。

• 2024

  科学领导层交接其他

  背景

  在京特·特伦克尔自1996年至2023年长期担任所长后，研究所需要新的科学领导。

  采取的行动

  帕特里克·舍勒成为科学常务董事，而卡琳-伊雷妮·艾尔曼继续担任行政常务董事。

  后续影响

  FBH在新的管理安排下继续其应用研究计划。

  来源

• 2017

  参与Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland战略

  背景

  德国建立了协调的研究和基础设施框架，以加强先进微电子能力。

  采取的行动

  FBH加入了Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland，并贡献了其半导体、光子学和工艺开发能力。

  后续影响

  这一参与加深了FBH在德国国家微电子研究基础设施中的作用。

  来源

1. 1Ferdinand-Braun-Instituten.wikipedia.org
2. 2Official Ferdinand-Braun-Institut websitefbh-berlin.de