矩阵科技

矩阵科技（深圳市矩阵多元科技有限公司）是一家专注于薄膜材料制备和高通量材料制备系统开发及应用的国家高新技术企业。公司主营科研型及生产型薄膜材料制备系统，包括脉冲激光沉积系统（PLD）、磁控溅射系统、电子束蒸发系统、分子束外延系统（MBE），并提供真空互联系统，使镀膜设备与其他真空设备互联，可在真空环境下完成样品不同阶段镀膜及测试。此外，公司还为客户提供真空系统关键配件解决方案，包括加热器、靶台、掩模版等真空配件。除设备销售外，矩阵科技利用高通量材料研发平台自主开发新材料，或与高校、研究所、企业单位合作开发新材料，并开展材料大数据业务，预测新材料，缩短产品概念和商业化之间的时间进程。 公司核心团队成员来自加州大学伯克利分校以及全球五百强公司美国应用材料、西部数据、东京电子和多所国家实验室，拥有数十年设备开发及材料研发经验。公司搭建的基于脉冲激光沉积技术及磁控溅射技术的高通量材料制备系统平台可一次性批量制备100种不同材料配方或不同工艺的材料，并可同时对多达100种材料样品进行快速自动化测试和筛选。相对于传统的一个个材料试错过程，此平台可大大缩短新材料研发周期、降低研发成本，加速新材料的研发及应用。 矩阵科技已获得松禾资本、中芯国际基金、联想创投以及汇川技术等著名机构的多轮投资。公司获得深圳市“专精特新中小企业”及“创新型中小企业”双殊荣，2021年被德勤评为深圳市“高科技高成长20强暨明日之星”企业。公司设备助力中国科学家在高温超导领域取得重大突破，包括南方科技大学校长薛其坤院士领衔的联合研究团队发现常压镍氧化物的高温超导电性，以及哈尔滨工业大学陈祖煌教授团队通过矩阵科技脉冲激光沉积系统制备出高质量反铁电PbZrO3外延薄膜材料并发表于Science论文。2024年，公司顺利完成亿元B2轮融资，专注新一代先进封装PVD解决方案，并荣获深创赛企业组一等奖。

矩阵科技（深圳市矩阵多元科技有限公司）是一家专注于薄膜材料制备和高通量材料制备系统开发及应用的国家高新技术企业。公司由张晓军博士创立，张晓军毕业于加州大学伯克利分校机械工程系，曾任美国应用材料高级研发工程师、美国西部数据首席研发工程师。公司核心团队成员来自加州大学伯克利分校以及全球五百强公司美国应用材料、西部数据、东京电子和多所国家实验室，拥有数十年设备开发及材料研发经验。 公司主营科研型及生产型薄膜材料制备系统：脉冲激光沉积系统、磁控溅射系统、电子束蒸发系统、分子束外延系统。同时提供真空互联系统，使镀膜设备与其他真空设备互联，可在真空环境下完成样品不同阶段镀膜及测试，并为客户提供真空系统关键配件解决方案，包括加热器、靶台、掩模版等真空配件。公司搭建的基于脉冲激光沉积技术及磁控溅射技术的高通量材料制备系统平台可一次性批量制备100种不同材料配方或不同工艺的材料，并可同时对多达100种材料样品进行快速自动化测试和筛选，相对于传统的一个个材料试错过程，可大大缩短新材料研发周期、降低研发成本。除设备销售外，矩阵科技还提供研发服务，利用高通量材料研发平台自主开发新材料，或与高校、研究所、企业单位合作开发新材料，并开展材料大数据业务，预测新材料。 公司已获得松禾资本、中芯国际基金、联想创投以及汇川技术等著名机构的多轮投资。公司获得深圳市“专精特新中小企业”及“创新型中小企业”双殊荣，2021年被德勤评为深圳市“高科技高成长20强暨明日之星”企业。公司设备助力多项重大科研成果：2023年12月，哈尔滨工业大学陈祖煌教授团队通过矩阵科技脉冲激光沉积系统制备出高质量反铁电PbZrO3外延薄膜材料并发表于Science论文；2025年2月，南方科技大学校长薛其坤院士领衔的南方科技大学、粤港澳大湾区量子科学中心与清华大学联合研究团队利用矩阵科技设备发现常压镍氧化物的高温超导电性。2024年9月，公司顺利完成亿元B2轮融资，由中车资本、智慧互联产业基金、前海母基金和毅达资本联合投资，专注新一代先进封装PVD解决方案。2024年10月，公司荣获深创赛企业组一等奖。公司现拥有80多项专利，成果先后被经济日报、经济参考报、新浪财经、投资界、深圳特区报、证券时报、中创研究院、界面等国内主流媒体相继报道。

• 获得南山区2018“创业之星”大赛成长企业组二等奖。

• 获得2020年深圳市政府“人才伯乐奖”；创始人张晓军入选2020年科技部创新人才推进计划科技创新创业人才。

• 被德勤评为深圳市“高科技高成长20强暨明日之星”企业。

• 荣获第二十三届中国高交会“优秀产品奖”。

• 荣获深圳市“专精特新中小企业”及“创新型中小企业”双殊荣。

• 哈尔滨工业大学陈祖煌教授团队通过矩阵科技脉冲激光沉积系统制备出高质量反铁电PbZrO3外延薄膜材料并发表于Science论文。

• 顺利完成亿元B2轮融资，由中车资本、智慧互联产业基金、前海母基金和毅达资本联合投资。

• 荣获深创赛企业组一等奖。

• 矩阵科技设备助力薛其坤院士领衔的联合研究团队发现常压镍氧化物的高温超导电性。

国家高新技术企业，提供科研型及生产型薄膜材料制备系统和高通量材料研发平台，面向半导体制造、先进封装和先进科研应用。

• 脉冲激光沉积系统 B系列

  高性价比PLD；模块化设计、软件实现自动化控制、安全互锁功能。

• 脉冲激光沉积系统 M系列

  高性能PLD/LMBE；模块化设计，最高5维样品架，软件实现自动化控制、安全互锁功能。

• 脉冲激光沉积系统 L系列

  大面积PLD；最大8英寸基片，激光线性扫描提高成膜均匀性，软件实现自动化控制、安全互锁功能。

• 磁控溅射系统

  超高真空，可不破真空调节靶枪倾角，精度0.1°。

• 电子束蒸发系统

  兼容超高真空，全自动控制镀膜过程，可与PLD/磁控真空互联。

• 真空互联系统

  镀膜设备与其他真空设备互联，可在真空环境下完成样品不同阶段镀膜及测试。

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